激光焊真空实验设备

  途:用于光刻机激光灯管电极材料前期高真空加热预处理

主要组件:正负压腔体、内部滑动模组、分子泵、旋片泵、阀门仪表及控制系统

 

        

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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