电极材料真空处理设备

ꄴ前一个： 真空电绝缘实验设备
ꄲ后一个： 激光焊真空实验设备

用  途：用于光刻机激光灯管电极材料前期高真空加热预处理

主要组件：分子泵、旋片泵、薄膜真空计、充气微调阀、冷水机及管道阀门

 

     

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