技术参数：
1、真空腔体尺寸Φ400*800mm内外抛光
2、限压力≤9.0*10E-5 Pa
3、腔体真空接口数量16个；
4、分子泵抽速1600L/S；
5、氦检漏率≤6.7*10E-9Pa.m3/S
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