真空腔+高真空分子泵机组成套

技术参数:

1、腔体尺寸:φ580*600mm

2、极限压力:1.2*10E-4Pa

3、分子泵:1200L/S

4、旋片泵:18L/S

 

       

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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