高真空扩散泵机组
技术参数：
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项 目 |
规格及参数 |
备 注 |
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扩散泵 |
KT-400 |
凸腔大抽速 |
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罗茨泵 |
300L/S |
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旋片泵 |
70 L/S |
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极限压力 |
≤5.0×10E-4 Pa |
空载 |
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主抽气口径 |
DN300 |
可根据要求定做 |
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主阀及高抽管道压升率 |
≤0.67Pa/小时 |
主抽气口盲板封堵 |
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炉体充氮压力 |
0.15~150Kpa |
薄膜真空计自动控制 |
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扩散泵温度调控范围 |
100~270℃ |
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报警状态 |
缺水、水温过高、气压过低 |
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总 功 率 |
15 KW |
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总 重 量 |
约1.2吨 |
用 途：用于对各类型真空炉及中大型真空腔体抽真空
