风冷型油润滑分子泵
一、概述
ST系列分子泵具有分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
ST分子泵采用进口精密轴承支撑，冷却方式为水冷或风冷，风冷泵工作环境温度必须低于 28℃，转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠，但也决定了分子泵只能垂直安装。
二、技术参数
| ST系列分子泵技术参数表 | ||||||||
| 技术数据 | STFB-600分子泵 | STFB-1200分子泵 | STFB-1600分子泵 | |||||
| 高真空法兰(mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | ||
| 前级管道法兰(mm) | 40 KF | 50 KF | ||||||
| 抽气速(L/S)(对空气) | 600 | 1200 | 1600 | |||||
| 压缩比 | N2 | >109 | ||||||
| H2 | >8X103 | >1X104 | ||||||
| 极限压强(Pa) | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | 5x10-7 | ||
| 额定转数(rpm) | 24000 | |||||||
| 振动值 | ≤0.1μm | ≤0.15 | ||||||
| 启动时间(min) | 4.5 | 5 | ＜6 | |||||
| 停机时间(min) | 7 | 8 | ||||||
| 建议采用的前级泵（L／S） | 4-8 | 8-15 | 15 | |||||
| 冷却方式 | 风冷 | |||||||
| 风冷泵环境温度（℃） | ≤35 | |||||||
| 水冷泵冷却水温度（℃） | ≤25 | ≤20 | ||||||
| 水冷冷却水流量(L/min) | 2 | 1~2 | ||||||
| 泵体烘烤温度（℃） | <120 | |||||||
| 加热器功率(w) | <250 | <300 | <350 | |||||
| 加热器输入电压(v) | AC220 | AC220装方 | AC220 | |||||
| 安向 | 垂直±5° | |||||||
| 泵重量(kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | |||||
三、曲线图
四、安装尺寸
五、分子泵电源
1、电源安装尺寸
|
前面板 |
宽 480mm×高 88mm（厚 2mm） |
前面板到机柜前门最小保留空间 |
11mm |
|
后面板 |
宽 438mm×高 86mm |
后面板到机柜最小保留空间 |
130mm |
|
箱体 |
深 322mm×宽 438mm×高 86mm |
机箱两侧到机柜最小保留空间 |
50mm |
2、电器参数
|
输出功率（过载能力） |
输出功率 800W（过载能力 1500W）。分子泵正常运转时功耗小于 250W，启动加速时小于 500W。 |
|
输出电压 |
0 — 55V |
|
输出频率 |
0 （10）— 400Hz |
|
零启动加速时间 |
≤6分钟 |
|
减速时间 |
≤8.5分钟 |
|
输入电压 |
单相交流 180V—240V，50—60Hz |
|
工作条件 |
环境温度 0—40℃，相对湿度小于 80% |
3、前面板按键与接口功能介绍
|
总电源开关 |
能连通或切断 AC220V 双线（L、N）电路。 |
|
内/外控转换键 |
决定‘外控端子’的 1、2 点是否有效。按下为外控（遥控）模式，1、2 点有效。 |
|
启动键 |
按压后分子泵进入加速状态（频率由 400Hz 往下追踪），直至到达最高频率。 |
|
停止键 |
按压后分子泵进入降频减速状态，直至最低频率，电源停止输出。 |
|
参数设置面板（有效操作按键）说明 |
|
 |
在正常模式（非编程模式）、电源停止或启动状态下，循环按压此键可查询最高设定 频率，实际运行频率，电流量（内部 220V 侧三相输出电流，约等于 220V 输入电流）。 |
| 注：参数变更、正反转、寸动以及 RUN、STOP 功能键是工厂调试专用键，出厂后已经锁定，使用无效。 | |
4、后面面板接口功能
