脂润滑分子泵
一、概述
ST 系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内首创的变截面一体成型叶齿、轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承，以更高的可靠性实现了泵体的任意角度安装和清洁无油的高真空环境。它同时具有抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。
脂润滑分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
二、技术参数
| ST系列脂润滑分子泵技术参数表 | ||||||||
| 技术数据 | STFB-FZ650脂润滑分子泵 | STFB-1300FZ脂润滑分子泵 | STFB-2000FZ脂润滑分子泵 | |||||
| 高真空法兰(mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | ||
| 前级管道法兰(mm) | 40 KF | 50 KF | ||||||
| 抽气速(L/S)(对空气) | 650 | 1300 | 2000 | |||||
| 压缩比 | N2 | >109 | ||||||
| H2 | >1X104 | |||||||
| 极限压强(Pa) | <2×10-7 | <5×10-7 | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | ＜5x10-7 | ||
| 额定转数(rpm) | 24000 | |||||||
| 使用轴承 | 脂润滑陶瓷轴承 | |||||||
| 振动值 | ≤0.1μm | ≤0.1μm | ≤0.15 | |||||
| 启动时间(min) | ＜5 | |||||||
| 建议采用的前级泵（L／S） | 4-8 | 8-15 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷（风冷） | 水冷 | ||||||
| 水冷泵冷却水温度（℃） | ≤20 | |||||||
| 水冷冷却水流量(L/min) | 1 | |||||||
| 安向 | 任意角度 | |||||||
| 泵重量(kg) | ≈30 | ≈32 | ||||||
三、曲线图
ST系列脂润滑分子泵对大气的抽速曲线
ST系列脂润滑分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线
四、安装尺寸
五、分子泵电源
1、电源安装尺寸
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前面板 |
宽 480mm×高 88mm（厚 2mm） |
前面板到机柜前门最小保留空间 |
11mm |
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后面板 |
宽 438mm×高 86mm |
后面板到机柜最小保留空间 |
130mm |
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箱体 |
深 322mm×宽 438mm×高 86mm |
机箱两侧到机柜最小保留空间 |
50mm |
2、电器参数
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输出功率（过载能力） |
输出功率 800W（过载能力 1500W）。分子泵正常运转时功耗小于 250W，启动加速时小于 500W。 |
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输出电压 |
0 — 55V |
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输出频率 |
0 （10）— 400Hz |
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零启动加速时间 |
≤6分钟 |
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减速时间 |
≤8.5分钟 |
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输入电压 |
单相交流 180V—240V，50—60Hz |
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工作条件 |
环境温度 0—40℃，相对湿度小于 80% |
3、前面板按键与接口功能介绍
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总电源开关 |
能连通或切断 AC220V 双线（L、N）电路。 |
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内/外控转换键 |
决定‘外控端子’的 1、2 点是否有效。按下为外控（遥控）模式，1、2 点有效。 |
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软启动按键 |
初次使用或长期闲置重新启动使用软启动，频率显示 100Hz 运行 30 分钟 200Hz 运行 30 分钟 300Hz 运行 30 分钟到 400Hz，连续运行 2~3 小时后，按下“软 启动”键，关闭软启动，随后可进入分子泵电源的常规操作流程。
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启动按键 |
按压后分子泵进入加速状态（频率由 400Hz 往下追踪），直至到达最高频率。
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停止按键 |
按压后分子泵进入降频减速状态，直至最低频率，电源停止输出。 |
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参数设置面板（有效操作按键）说明 |
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在正常模式（非编程模式）、电源停止或启动状态下，循环按压此键可查询最高设定 频率，实际运行频率，电流量（内部 220V 侧三相输出电流，约等于 220V 输入电流）。 |
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注：参数变更、正反转、寸动以及 RUN、STOP 功能键是工厂调试专用键，出厂后已经锁定，使用无效。
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4、后面板按键功能介绍
