水冷型油润滑分子泵
一、概述
ST系列分子泵具有分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
ST分子泵采用进口精密轴承支撑，冷却方式为水冷或风冷，风冷泵工作环境温度必须低于 28℃，转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠，但也决定了分子泵只能垂直安装。
二、技术参数
| ST系列分子泵技术参数表 | |||||||
| 技术数据 | STFB-600分子泵 | STFB-1200分子泵 | STFB-1600分子泵 | ||||
| 高真空法兰(mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250ISO | |
| 前级管道法兰(mm) | 40 KF | 50 KF | |||||
| 抽气速(L/S)(对空气) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| 压缩比 | N2 | >109 | |||||
| H2 | >8X103 | >1X104 | |||||
| 极限压强(Pa) | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | 5x10-7 | |
| 额定转数(rpm) | 24000 | ||||||
| 振动值 | ≤0.1μm | ≤0.15 | |||||
| 启动时间(min) | 4.5 | 5 | ＜6 | ||||
| 停机时间(min) | 7 | 8 | |||||
| 建议采用的前级泵（L／S） | 4-8 | 8-15 | 15 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 风冷泵环境温度（℃） | ≤35 | ||||||
| 水冷泵冷却水温度（℃） | ≤25 | ≤20 | |||||
| 水冷冷却水流量(L/min) | 2 | 1~2 | |||||
| 泵体烘烤温度（℃） | <120 | ||||||
| 加热器功率(w) | <250 | <300 | <350 | ||||
| 加热器输入电压(v) | AC220 | AC220装方 | AC220 | ||||
| 安向 | 垂直±5° | ||||||
| 泵重量(kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
三、曲线图
ST系列分子泵对大气的抽速曲线
ST系列分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线
四、安装尺寸
五、分子泵电源
1、电源安装尺寸
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前面板
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宽 480mm×高 88mm（厚 2mm）
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前面板到机柜前门最小保留空间
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11mm
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后面板
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宽 438mm×高 86mm
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后面板到机柜最小保留空间
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130mm
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箱体
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深 322mm×宽 438mm×高 86mm
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机箱两侧到机柜最小保留空间
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50mm
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2、电器参数
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输出功率（过载能力） |
输出功率 800W（过载能力 1500W）。分子泵正常运转时功耗小于 250W，启动加速时小于 500W。 |
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输出电压 |
0 — 55V |
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输出频率 |
0 （10）— 400Hz |
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零启动加速时间 |
≤6分钟 |
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减速时间 |
≤8.5分钟 |
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输入电压 |
单相交流 180V—240V，50—60Hz |
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工作条件 |
环境温度 0—40℃，相对湿度小于 80% |
3、前面板按键与接口功能介绍
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总电源开关
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能连通或切断 AC220V 双线（L、N）电路。
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内/外控转换键
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决定‘外控端子’的 1、2 点是否有效。按下为外控（遥控）模式，1、2 点有效。
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启动键
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按压后分子泵进入加速状态（频率由 400Hz 往下追踪），直至到达最高频率。
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停止键
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按压后分子泵进入降频减速状态，直至最低频率，电源停止输出。
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参数设置面板（有效操作按键）说明
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在正常模式（非编程模式）、电源停止或启动状态下，循环按压此键可查询最高设定 频率，实际运行频率，电流量（内部 220V 侧三相输出电流，约等于 220V 输入电流）。
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注：参数变更、正反转、寸动以及 RUN、STOP 功能键是工厂调试专用键，出厂后已经锁定，使用无效。
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4、后面板接口功能
