单晶硅传感器真空充油机
一、概述
1、应用于单晶硅传感器及其它同类型产品的高真空注油工艺。
2、预处理油罐具备控温加热、搅拌、照明及补油功能。
3、高真空注油腔内部配置通用产品托盘，可选配控温加热功能。
4、三路复合真空计可实时监测各区域真空压力。
5、总排气口安装油雾过滤器，可有效降低设备运行噪音并净化油气。
6、操作点之间均有压力或互锁逻辑保护，有效避免人为误操作损坏设备。
7、油杯配置液位开关，避免过量补油及注油损坏设备。
二、技术参数
| 序号 | 项目 | 参数 | 备注 |
| 1 |
注油腔极限压力 |
≤6.7×10E-4 Pa |
空载 |
| 2 |
油杯极限压力 |
≤2.0×10-1Pa |
空载 |
| 3 |
真空泵配置 |
分子泵+旋片真空泵 |
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| 4 |
单次产品数量 |
30~50件 |
|
| 5 |
单次运行时长 |
6~8小时 |
|
| 6 |
电 压 |
220V或380V |
任意选择 |
| 7 |
总 功 率 |
3.5 Kw |
|
| 8 |
冷却方式 |
风冷 |
|
| 9 |
外形尺寸 |
1150*650*1770mm |
宽×深×高 |
| 10 |
总 重 量 |
约400 Kg |
三、设备外形图
四、客户代表
1、南京沃天科技股份有限公司
2、麦克传感器股份有限公司
3、上海立格仪表有限公司
4、陕西西部传感技术有限公司
